Множественные источники испарения Оборудование для нанесения покрытий методом напыления в высоком вакууме

0р.
Производители
Модель: Множественные источники испарения
Склад Есть в наличии
Просмотров 672

Характеристики

  • Вес (кг) 350
  • Мощность 5кВт
  • Напряжение питания AC380V, 50 Гц
  • Размеры 1000 мм x 800 мм x 1500 мм

Описание товара

Это оборудование для нанесения покрытий в высоком вакууме с несколькими источниками. Оборудование имеет конструкцию вакуумной камеры с открыванием спереди. Камера имеет большое пространство и высокую расширяемость, что позволяет покрывать испарением несколько типов крупногабаритных образцов. Камера имеет внутри верхний столик для образца, и детали для крепления образца зажимного или зажимного типа могут быть выбраны в соответствии со стилем образца пользователя. Стол для образцов можно вращать, нагревать, поднимать и опускать, а все операции интегрированы и контролируются с помощью сенсорного экрана. Комплект вакуумного насоса оборудования представляет собой двухступенчатую вакуумную систему, которая состоит из двухступенчатого пластинчато-роторного вакуумного насоса и турбомолекулярного насоса. Он может обеспечить чистую и безмасляную среду в высоком вакууме для испытания вакуумного покрытия; Вакуумная система содержит полную систему пневматических клапанов, и пользователь может одним касанием управлять с помощью сенсорного экрана, чтобы реализовать вакуумирование, непрерывную загрузку и выгрузку образца, полное отключение и другие операции.

Оборудование имеет два комплекта источников испарения. В нем используется источник испарения вольфрамовой лодки и медные электроды с водяным охлаждением. Он может поддерживать максимальный ток 300 А и температуру нагрева до 3000 ℃. Он может осуществлять испарение различных тугоплавких металлов. Это оборудование имеет интегрированную конструкцию, а камера и электрическая часть управления разделены слева и справа, что обеспечивает разделение воды и электричества и эффективно гарантирует безопасность пользователей. В части электрического управления используется комбинация сенсорного экрана и кнопочной панели. Вакуумная система, стол для образцов и другие вспомогательные функции управляются с сенсорного экрана с помощью одной кнопки. Управление испарением и толщиной пленки осуществляется независимо от панели, что максимально удобно для пользователей и позволяет избежать неправильной работы. Оборудование хорошо спроектировано и обладает отличной производительностью, и это незаменимый выбор для лабораторных испытаний высокоточного напыления покрытия.

Технические параметры многоточечного оборудования для нанесения покрытий методом напыления в высоком вакууме:

Примерный этап

Размер

Максимальная опора φ150 мм образец

Рост

Регулируется вверх и вниз 70 мм

Источник испарения

Количество

Вольфрамовая лодка x2

Вакуумная камера

Размер камеры

Dia. 300 мм x 400 мм

Материал камеры

304 нержавеющая сталь

Окно наблюдения

                     

Передний φ100 мм с затеняющим листом

Метод открытия

Входная дверь открыта

Контроль толщины пленки

Кристаллический вибрационный прибор для измерения толщины пленки, дополнительный многоканальный контроллер толщины пленки

Вакуумная система

Резервный насос

Двухступенчатый пластинчато-роторный насос

Насосный порт

KF16

Вторичный насос

Турбомолекулярный насос

Насосный порт

CF160

Измерение вакуума

Сопротивление + ионизация  Составной вакуумметр

Максимальный вакуум

1.0E-5 Па

Скорость откачки

Пластинчато-роторный насос: 1,1 л / с

Скорость выхлопа

Механический насос 1,1 л / с      Молекулярный насос 600 л / с

Источник питания

220 В переменного тока 50/60 Гц

Расходомер

Одноканальный массовый расходомер 500 куб. М газа Ar

Система контроля

ПЛК автоматическое управление

Интерфейс управления: сенсорный экран + панель управления

Другой

Напряжение питания

AC380V, 50 Гц

Суммарная мощность

5кВт

Размер машины

1000 мм x 800 мм x 1500 мм

Вес машины

350 кг



Написать отзыв

Примечание: HTML разметка не поддерживается! Используйте обычный текст.
    Плохо           Хорошо
Защита от роботов


Наверх
Яндекс.Метрика